Лазеры и Аппаратура ТМ

Назначение

Машина лазерная для подгонки резисторов МЛ5-2 предназначена для выполнения операции ручной (с помощью джойстика-манипулятора) лазерной подгонки резисторов, выполненных по тонкопленочной или толстопленочной технологи на подложках из поликора, ситалла, керамики (и др. согласованных материалов). Отличительной особенностью машины является возможность автоматизированного (управляемого от компьютера)  изменения положения зондов относительно подложки.

Обшие сведения

Позиционирования пятна и выполнение подгоночного реза обеспечивается прецизионной XY кинематической системой (координатный стол или  2-х осевой гальваносканер). Размещение и фиксация подложки осуществляется на предметном столе. Управление перемещением пятна осуществляется от джойстика.
Измерения обеспечиваются развязанной от всех блоков многодиапазонной Цифровой Измерительной Системой (ЦИС), выполненной на основе 14-разрядного АЦП и сигнального процессора для скоростной цифровой первичной обработки.
Прикладное программное обеспечение (ПО) работает в среде Windows XP и позволяет осуществлять как одиночное измерение и подгонку, так и загрузку, обработку и выполнение групповых файлов-заданий (координаты, целевые номиналы резисторов и допуски, технологические параметры для лазера и сканера) и обеспечивает распечатку Протокола-отчета по подгонке в заданном формате. ПО позволяет настраивать, сохранять и загружать технологические параметры задания, осуществляет контроль и самодиагностику системы в процессе работы.
Машина снабжена 2-мя зондами каждый из которых устанавливается на управляемой от компьютера XY координатном столе  позволяющим осуществлять перемещения зонда относительно подложки.
Машина снабжена  Z координатой (лифтом) позволяющим осуществлять подстройку по вертикальной оси.
В машине используется лазер нового поколения с диодной накачкой.
 
Комплект поставки:

1. Виброустойчивый каркас для установки кинематической системы, предметного стола зондов, лазерного излучателя
2. Предметный стол
3. Опорный каркас
4. Твердотельный лазер с диодной накачкой
5. Блоки питания, управления, термостабилизации
6. Управляемая от компьютера кинематическая система для перемещения зондов
7. Оптическая система с и ТВ и камерами визуального контроля
8. Цифровая измерительная система (ЦИС)
9. Компьютер управляющий в конфигурации МЛ-5 с ЖКИ-монитором;
10. Многоканальная система регулируемого освещения
11. Прикладное ПО МЛ5-1 (Программа прецизионной подгонки)
12. Комплект ЗиП и эксплуатационно-технической документации (ЭТД)
     

Основные технические данные и характеристики

Основные параметры назначения

Диапазон сопротивлений подгоняемых резисторов	1,0 - 10 7
Точность подгонки номинала резисторов в диапазоне   10…5х106 Ом, %, не хуже	+/-0,5
Допускаемая относительная погрешность контроля при подгонке, %, не хуже:	+/-0,5
Рабочее поле на подложке, в пределах которого возможна подгонка, мм	60х48
Скорость перемещения луча(линейная, при f=100 мм) мин/макс,  мм/сек номинальная при подгонке или просмотре, мм/сек:	0,01…40 0,1…100
Расчетный шаг перемещения (для  f=100 мм), мкм:	1,0

 Параметры цифровой измерительной системы

Разрядность АЦП	14 бит
Диапазон входных сигналов (переключаемый)	+/-10В…… +/-0.15625В
Типы входов	дифференциальные
Количество входных измерительных каналов	24 (мультиплекс)
Максимальная частота преобразования	400 кГц
Интегральная и дифференциальная нелинейность	макс. +/-1.5 МЗР

 Параметры оптической системы

Фокусное расстояние базового объектива, мм	100
Рабочий диапазон длин волн объективов, мкм	0,55 и 1,064
Размер пятна излучения в зоне обработки, мкм	30-40

Параметры лазерного излучателя

Тип лазера - твердотельный (Nd:YAG)	с  диодной накачкой
Длина волны излучения, мкм	1,06
Мощность излучения, Вт, (fмодул=20 кГц) ТЕМoo	0,1…10
Частота модуляции, кГц	1 – 50

Программное обеспечение (ПО) позволяет:
Проводить технологическую подготовку, загрузку, редактирование технологических заданий на подгонку (создавать и импортировать Таблицу Подгонки  (ТП ) для любого изделия)
Задавать и менять технологические параметры  и  последовательность обработки, создавать отчетный Протокол подгонки в согласованном с ТП формате.