Лазеры и Аппаратура ТМ

Назначение

 Машина лазерная для подгонки резисторов МЛ5-1 (лазерный «триммер» МЛ5-1) предназначена для выполнения операции ручной лазерной подгонки резисторов, выполненных по тонкопленочной или толстопленочной технологи на подложках из поликора,  ситалла, керамики

Обшие сведения

Позиционирования пятна и выполнение подгоночного реза обеспечивается прецизионной XY кинематической системой (координатный стол или  2-х осевой гальваносканер). Размещение и фиксация подложки осуществляется на предметном столе. В машине МЛ5-1 используется режим с одноканальным измерением, зонды устанавливает оператор. управление перемещением пятна осуществляется оператором вручную с помощью джойстика-манипулятора. 
Измерения обеспечиваются развязанной от всех блоков Цифровой Измерительной Системой (ЦИС), выполненной на основе 14-разрядного АЦП и сигнального процессора для скоростной цифровой первичной обработки.  Прикладное программное обеспечение (ПО) работает в среде Windows XP и позволяет осуществлять  измерение и подгонку, загрузку, обработку и выполнение файлов-заданий (целевые номиналы резисторов и допуски, технологические параметры для лазера и сканера) и обеспечивает распечатку Протокола-отчета по подгонке в заданном формате., осуществляет контроль и самодиагностику системы в процессе работы. Машина снабжена механизмами ручной подстройки положения  подложки относительно лазерного пятна. Подстройка осуществляется  с помощью координатного стола  и устройства перемещения по оси  Z.   В машине используется лазер нового поколения с диодной накачкой. 

Комплект поставки:

1. Виброустойчивый каркас для установки кинематической системы, предметного стола, зондов и  лазерного излучателя.
2. Предметный стол.
3. Опорный каркас.
4. Твердотельный лазер с диодной накачкой;
5. Блоки питания, управления, термостабилизации;
6. Управляемая от компьютера кинематическая система.
7. Оптическая система с  ТВ камерами визуального контроля;
8. Цифровая измерительная система (ЦИС);
9. Компьютер управляющий в конфигурации МЛ-5 с ЖКИ-монитором;
10. Многоканальная система регулируемого освещения;
11. Прикладное ПО МЛ5-1 (Программа прецизионной подгонки);
12. Комплект ЗиП и эксплуатационно-технической документации (ЭТД).

Основные технические данные и характеристики

Основные параметры назначения

Диапазон сопротивлений подгоняемых резисторов, Ом Точность подгонки номинала резисторов в диапазоне   10…5х106 Ом, %, не хуже	1,0…107 ±0,5
Рабочее поле на подложке,  мм	60х50  для сканера 100х100 для координатного стола
Скорость перемещения луча (линейная, при f=100 мм) мин/макс,  мм/сек номинальная при подгонке или просмотре,    мм/сек:	0,01…40 0,1…100
Расчетный шаг перемещения (для  f=100 мм), мкм	1,0

 Параметры цифровой измерительной системы

Разрядность АЦП	14 бит
Диапазон входных сигналов (переключаемый)	±10В…… ±0.15625В
Типы входов	дифференциальные
Максимальная частота преобразования	400 кГц
Интегральная и дифференциальная нелинейность	макс. ±1.5 МЗР

Парметры оптической системы

Фокусное расстояние базового объектива, мм	100
Рабочий диапазон длин волн объективов, мкм	0,55 и 1,064
Размер пятна излучения в зоне обработки, мкм	20-40

Параметры лазерного излучения

Тип лазера - твердотельный (Nd:YAG)	с  диодной накачкой
Длина волны излучения, мкм	1,06
Мощность излучения, Вт, (fмодул=20 кГц) ТЕМoo	0,1…10
Мощность излучения, Вт, (fмодул=20 кГц) ТЕМoo	1 – 50

Программное обеспечение позволяет:

Проводить технологическую подготовку, загрузку, редактирование технологических заданий на подгонку.
Задавать и менять технологические параметры  и последовательность обработки, создавать отчетный Протокол подгонки в согласованном с ТП формате.